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光學顯微鏡的分辨率主要影響因素是照明光源的波長，要提高分辨率關鍵是有波長短，又能聚焦成像的照明光源。
電磁透鏡的分辨率由衍射效應和球面像差來決定，關鍵是 
確定電磁透鏡的*佳孔徑半角，使得衍射效應埃利斑和球差散焦斑尺寸大小相等
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